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    我國團隊成功在8英寸硅片上制備出高質(zhì)量氧化鎵外延片 具有優(yōu)異耐高壓與日盲紫外光響應特性

    2023-03-14 22:54:47   作者:   來(lái)源:IT之家   評論:0  點(diǎn)擊:


      3 月 14 日消息報道,從西安郵電大學(xué)官網(wǎng)獲悉,日前,西安郵電大學(xué)新型半導體器件與材料重點(diǎn)實(shí)驗室的陳海峰教授團隊成功在 8 英寸硅片上制備出了高質(zhì)量的氧化鎵外延片,這一成果標志著(zhù)該校在超寬禁帶半導體研究上取得重要進(jìn)展。

      團隊負責人陳海峰教授介紹,氧化鎵是一種超寬禁帶半導體材料,具有優(yōu)異的耐高壓與日盲紫外光響應特性,在功率器件和光電領(lǐng)域應用潛力巨大。硅上氧化鎵異質(zhì)外延有利于硅電路與氧化鎵電路的直接集成,同時(shí)擁有成本低和散熱好等優(yōu)勢。

      氧化鎵是一種新型超寬禁帶半導體材料,是被國際普遍關(guān)注并認可已開(kāi)啟產(chǎn)業(yè)化的第四代半導體材料。與前代半導體材料相比,氧化鎵材料具備更高的擊穿電場(chǎng)強度與更低的導通電阻,從而能量損耗更低,功率轉換效率更高。另外,氧化鎵具有良好的化學(xué)和熱穩定性,成本低,制備方法簡(jiǎn)便、便于批量生產(chǎn),在產(chǎn)業(yè)化方面優(yōu)勢明顯。

      近年來(lái),我國在氧化鎵的制備上連續取得突破性進(jìn)展,從去年的 2 英寸到 6 英寸,再到最新的 8 英寸,氧化鎵制備技術(shù)越來(lái)越成熟。

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