
團隊負責人陳海峰教授介紹,氧化鎵是一種超寬禁帶半導體材料,具有優(yōu)異的耐高壓與日盲紫外光響應特性,在功率器件和光電領(lǐng)域應用潛力巨大。硅上氧化鎵異質(zhì)外延有利于硅電路與氧化鎵電路的直接集成,同時(shí)擁有成本低和散熱好等優(yōu)勢。
氧化鎵是一種新型超寬禁帶半導體材料,是被國際普遍關(guān)注并認可已開(kāi)啟產(chǎn)業(yè)化的第四代半導體材料。與前代半導體材料相比,氧化鎵材料具備更高的擊穿電場(chǎng)強度與更低的導通電阻,從而能量損耗更低,功率轉換效率更高。另外,氧化鎵具有良好的化學(xué)和熱穩定性,成本低,制備方法簡(jiǎn)便、便于批量生產(chǎn),在產(chǎn)業(yè)化方面優(yōu)勢明顯。
近年來(lái),我國在氧化鎵的制備上連續取得突破性進(jìn)展,從去年的 2 英寸到 6 英寸,再到最新的 8 英寸,氧化鎵制備技術(shù)越來(lái)越成熟。